結晶太陽電池セル製造用常圧CVD装置
 AMAX1000S 製造元（株）天谷製作所 |
説明
結晶太陽電池セル用量産装置を新たにリリースしました。
特長
◎半導体ウェハプロセスで培った連続式常圧CVD方式を採用しました。
◎□156mm ウェハ＞1300枚/時、□125mmウェハ＞2000枚/時の処理能力 ◎アプリケーション：ハードマスク、固相拡散膜、保護膜 |
連続式常圧CVD装置
 A6300 製造元（株）天谷製作所 |
説明
半導体・太陽電池等で使用するSiH4系およびTEOS系NSG膜、PSG膜、BPSG膜の成膜が可能な常圧CVD装置です。
特長
◎トレー搬送方式による連続式常圧CVD装置です。
◎トレーにSiCを採用し、重金属汚染を低減。 ◎連続式ならではの高スループット。 ◎プラズマダメージなしでの成膜。 ◎国内外での納入実績多数。 ラインアップ
◎A6300シリーズ コンパクトかつ高スループット
◎AMAXシリーズ 〜300mm大口径ウェハ対応 ◎ATOシリーズ TEOS仕様 |
枚葉式常圧CVD装置
 A200 製造元（株）天谷製作所 |
説明
半導体・太陽電池等で使用するSiH4系およびTEOS系NSG膜、PSG膜、BPSG膜の成膜が可能な常圧CVD装置です。
特長
◎フェイスダウン方式採用によるすぐれたGap埋め込み性。
◎チャンバ内にN2パージをすることでパーティクル低減。 ◎プラズマダメージなしでの成膜。 ラインアップ
◎A200シリーズ 6インチおよび8インチウェハ対応
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研究開発用CVD装置
 Type D301 製造元（株）天谷製作所 |
説明
研究開発用にカスタマイズ可能なCVD装置です。
ラインアップ
◎D301 枚葉式多用途CVD装置
◎D501 バッジ式常圧SiH4/O3 CVD装置 ◎D601 枚葉式常圧CVD装置 |
MOCVD装置
 Doctor T 製造元（株）天谷製作所 |
説明
山形大学・渡辺商行共同開発の高温対応気化器を搭載したMOCVD装置です。FeRAM用PZT、SBTをはじめ多様な有機金属化合物の成膜が可能です。
特長
◎特許取得済み独自開発の気化器を搭載。気化管詰まりをなくし
長期安定使用が可能。 ◎多様な原料の気化が可能となり、さまざまな有機金属膜の成膜が 可能。 ◎CVDならではの良好な埋め込性を実現。 ラインアップ
◎DOCTOR T 1チャンバ・2チャンバ型MOCVD装置
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ASM EPSILON®チャンバー
| 米国の関連会社Wacom Quartzとワコム製作所は、ASM Epsilon 石英製品のライセンスを取得して製造しており、弊社が販売をしています。
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ATMチャンバー
RPチャンバー |
説明
ASM EPSILON®チャンバー
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透明石英ガラス加工品
| 関連会社のワコム製作所では、プロセスチューブ・ボート・角槽等の石英加工品を製作し、それら各種半導体用の石英ガラス製品を販売しております。各素材メーカーより石英インゴットを調達して入る為、さまざまな加工が可能です。
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製造元：株式会社ワコム製作所 |
説明
角槽 ／縦型ボート・反応管 精密加工品／チャンバー及び石英バーナー |
ワコムシリコーンゴム成形品
| ワコムシリコーンゴム製品は、半導体製造・医療・食品・エレクトロニクスなどさまざまな分野に広く使用されております。
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 製造元：株式会社ワコム製作所 |
特徴1 精度の高いものから汎用ゴムまで
ワコム製のシリコーンゴム成形品は従来ゴム技術では難しい精度要求にも十分お応えできます。
導電ゴム付きのラバースイッチ等の成形も行なっています。汎用（低コスト）の成形品も海外協力工場にて製作可能です。 特徴2 外観・異物に配慮
清掃のゆきとどいた工場内で製作される成形品は異物等のコンタミがほとんどなく、特に半導体関連医療関連の部品用にご満足いただけると確信しております。
特徴３ 短納期
製品の難易度にもよりますが金型作成からサンプル納入まで短納期でお届けいたします。
特徴４ 要求特性・製作困難な形状等
希望要求特性を教えていただければ弊社技術スタッフがもっとも最適なシリコーンゴム素材を選択・配合いたします。 難しい形状であきらめた製品も是非一度ご相談ください。可能性の有る限り弊社スタッフが検討させていただきます。
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ワコムシリコーンゴムシート
製造元：株式会社ワコム製作所 | 説明
汎用シリコーンゴムシート
硬度：50度 JIS A 色：乳白色
お気軽にお問い合わせください。 |
特殊シリコーンゴムシート
製造元：株式会社ワコム製作所 |
説明
硬度10度〜90度の範囲で対応いたします。
導電性・難燃性、耐熱性、放熱性、高引裂性、等の特殊仕様も対応いたします。 |
超透明シリコーンゴムフィルム
 製造元：株式会社ワコム製作所 |
説明
超透明シリコーンゴムフィルム【HTフィルム】は、ガラス並みに高透明なシリコーンゴムシートです。
透過率約90％と優れた透明性を有しています。厚さも100μから用意がありますので、フィルムとしてもご使用いただけます。 ガラスやアクリル板の硬い透明性の製品とは異なり、フレキシブルで割れない特長があります。HTフィルムは柔らかいゴム製品ですので、クッション材として最適です。 物性、価格等詳しくは PDF ： SC_Silicone_RubberSheet.pdf  |
リードフレームメッキ用マスクゴムシート
製造元：株式会社ワコム製作所 |
説明
リードフレームその他のメッキ時のマスキング材として、
低硬度ゴムシートを提供しております。 硬度 0度〜20度 Hs ASKER C 厚み 0.3ｍｍ〜 基材として、両面テープ付 PETフィルム ベークライト・ガラエポ・その他 表面粘着性 強粘着性、低粘着性 タイプ等あります。 その他、ご要望の仕様をお申し付けください。 詳しくはこちら PDF ： Silicone_RubberMASK.pdf |
ラッピング・ポリッシング用キャリア
製造元：株式会社ワコム製作所 |
説明
弊社取り扱いのウェーハ研磨工程用キャリアは金属（SK、SUS等）および樹脂（ガラエポ、アラミド等）の様々素材で提供できます。また、ご要望に応じてウェーハ端面損傷防止等を目的とし、ホール周辺部に樹脂やエラストマーなどをインジェクション成形可能です。
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機械加工部品
製造元：株式会社トムコ |
部品製造の特徴
あらゆるニーズに応える為、熟練者が切削条件や工具交換などの加工条件を自動プロに入力し、そのデータをもとに加工が行なわれるマシン郡
MC、NCマシンによる自動加工で、多種多様な部品が効率よく加工できます また、完成した部品を検査・測定する高度な計測機器も完備し、ニーズに応える高精度・高品位製品の生産をしております。 |
部品再生洗浄
クリーンルーム（class1000）
製造元：株式会社トムコ |
再生洗浄とは・・・
スパッタ装置やエッチング装置等で使用する、防着シールド等のパーツに付着したデポ膜を、剥離・表面処理・精密洗浄・脱ガス乾燥を行い、気密梱包してお客様にお届けする、言いかえれば「パーツのウルトラ・クリーニング屋」です。
特徴
高信頼性のパーツを提供致します。
a, プラズマ又はアーク溶射により、パーツ表面にアルミ等の 膜をコートし、デポ膜の保持力を向上させ、微粉末の脱落 及び片状剥離によるパーティクルの発生を抑制します。 b, 昇温離脱ガス分析データをもとに、真空ベーク条件設定を 行う為、再生パーツからの脱ガスによる不具合の発生をミ ニマムに出来ます。 c, 精密洗浄工程から気密梱包まで、専用クリーンルーム内で の一貫作業となりますので、直ちにご使用頂ける状態でお 届け致します。 d, 弊社検査基準により全数出荷検査を行い、品質保証致し ます。 e, 標準化により、バラツキの少ない再生処理が可能です。 |
IPAリサイクルシステム
製造元：株式会社 トムコ |
特長
●全IPAを循環精製
●乾燥条件が一定化 ●収率は99% ●常に液体を高純度に保持可能 ●全自動運転(メンテフリー) ●安全機能 ●労務費の削減 ●省スペースに応じたコンパクト性 仕様
●能力 : 15リットル/時間まで
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ウェハートランスファーマシン
写真は「トランスボーイII」 製造元：株式会社 トムコ |
説明
裏面合わせウェハー移換機
バックtoバック（裏面合わせ）ウェハー移換機 この装置は、カセットからカセットのバッチウェハー自動移換機です。名称のとおり"裏面合わせ"機能をも兼ね合わせた特殊移換機です。 トランスボーイII ピッチ変換ウェハー移換機 ノッチウェハー移換機 |
IPA蒸気乾燥装置
製造元：株式会社 トムコ |
特長
●コンパクト
●高純度化しやすい ●ウェハー、キャリアの除電効果 ●ソフトな乾燥が可能 ●水との親和性が良い ●人体への影響が少ない ●回収（液化）が可能 ●循環精製システム付加可能 仕様
●ウェハーサイズ: 4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、(12インチ可)
ラインナップ
●独立簡易型 ●洗浄装置組込み型 |
フォトマスク洗浄装置
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説明
フォトマスクを自動的に洗浄乾燥するシステムです。
目的に応じた2機種を製品化。 どの機種も基本的に加熱硫酸槽にてフォトマスク表面の有機物除去を行い、表面を親水性とし、次工程のスクラブ工程で1.0μm以上のパーティクルを除去し、第3ブロックの最終洗浄工程のスクラブ工程でSC-1メガソニック槽で処理をし、サブミクロンのパーティクルを除去し、第4ブロックのIPAべーパードライヤーで、精度の高い乾燥を行います。ローダー/アンローダーでは、フォトマスクを垂直に保持するカセットか、または水平保持のカセットが使用され、自動的にフォトマスクを取出して処理槽に送り込みます。 |
関連製造部門製品
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