どの機種も基本的に加熱硫酸槽にてフォトマスク表面の有機物除去を行い、表面を親水性とし、次工程のスクラブ工程で1.0μm以上のパーティクルを除去し、第3ブロックの最終洗浄工程のスクラブ工程でSC-1メガソニック槽で処理をし、サブミクロンのパーティクルを除去し、第4ブロックのIPAべーパードライヤーで、精度の高い乾燥を行います。ローダー/アンローダーでは、フォトマスクを垂直に保持するカセットか、または水平保持のカセットが使用され、自動的にフォトマスクを取出して処理槽に送り込みます。

トランスボーイII
コンパクトな2カセット移換機です。

ピッチ変換ウェハー移換機
ウェハー移換機VPシリーズは、ピッチの違った石英または、SiCボートにウェハー25枚を一括して移し換える事ができ、省力化はもとより、ウェハーの無塵化を進め、歩留り向上に貢献いたします。
本体は、金属製で、駆動部には全て覆いが設けられていますので、ダストの侵入を防ぎます。また、同時にウェハーのオリフラ合わせ機能も取り付け可能です。

ノッチウェハー移換機
この装置は、25枚バッチ式カセットからカセットへ半自動の8インチノッチ付きウェハー移換機です。