縦型炉心管、ボートセット 横型マザーボート、ボート 横型炉心管

特長 高純度炭化けい素を主成分とするTPSSはクアーズテック独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。特に精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスでの品質、歩留向上にも貢献しています。

特長 CERASIC®常圧焼結SiCセラミックスは高温強度を必要とする場合はもちろん、耐摩耗・耐食性を要求される機械部品に最適な材料です。また、半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められています。高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。

クリアーカーボン（SiCコートグラファイト）サセプター：Epi用

特長 金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック株式会社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。特に高純度黒鉛材料は、特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えており、シリコン単結晶引き上げ用ヒーター・ルツボ、液相エピタキシャル用ボートなど、半導体製造工程で幅広く使用されています。さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンはエピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。

特長 サファイア（アルミナ単結晶）に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。当社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。SAPPHAL® は高純度であると同時に、気孔の無い真密度に極めて近い緻密性と結晶粒径の揃った均一な組織構造をもつため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐えることができます。また、従来難しいとされていた複雑形状品、大型製品などの製造も可能になり、さらなる応用が期待されています。

TM シリーズ STM,SPF シリーズ M シリーズ STM-V シリーズ

特長 クアーズテック株式会社は、1988年CEPURE®インライン・ガスフィルターの販売開始以来、一貫して半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に取り組んできました。第一世代としては六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」を、そして1992年には第二世代として除粒子性能を維持しつつ、ガス置換特性を向上させた「TMシリーズ」を市場に送りだしました。現在、CEPURE®シリーズは、より高いガス置換特性を追及し、かつ一段とコンパクト化を図った第三世代の「STMシリーズ」に進化しており、ユーザーの皆様から高い評価を得ています。また、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応する「STM-Vシリーズ」をラインアップに加え、集積型フィルターの小型化、高性能化に取り組むと同時に、多様化するユーザーニーズに対応すべく、各種フィルター応用製品の開発を進めています。

ブレイクフィルター™

ブレイクフィルター™とは？ クアーズテック株式会社と東京エレクトロン（株）殿との共同開発により製品化されたブレイクフィルター™は、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。従来、ロードロック室の真空破壊にはパーティクルの舞い上がりを防ぐため窒素ガスをゆっくり導入するスローベントが用いられてきました。ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルター™ を取り付けることにより、そのようなスローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。同時に、パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります。また、スローベントとの併用で、より大きなパーティクル低減効果を期待することも可能です。 ブレイクフィルター™の効果 下の写真は約11リッターのチャンバーをブレイクフィルター™を使用せず約60秒でスローベントを行った場合と、ブレイクフィルター™を使用しスローベントを行わずに約20秒で真空破壊した際の状況を撮影したものです。白球状のものはパーティクルに見立てた発泡スチロールです 。ブレイクフィルター™を取り付けることにより、パーティクルの舞い上がりが抑えられているのがお解りいただけると思います。 フィルター使用   フィルター不使用 スローベントなし   スローベントあり 現在ご使用中の真空装置のスループットの向上、パーティクルの低減、そして突発パーティクルの防止にクアーズテック株式会社のブレイクフィルター™ をお試し下さい。

発熱体「テコランダム」は、長寿命・取り扱いが簡単など多くの特徴を持っている為、幅広い工業炉で御使用頂いています。また、短時間での昇温が可能である為、モリブデンシリサイトの発熱体に比べ安価で経済的な製品です。
	特長 ●高温での使用が可能 　 ※一部製品は1,600℃に対応 ●短時間での昇温 ●長寿命 ●取り扱いが簡単 ●特殊コーティングが可能 　※有害雰囲気での安定した性能 ・ ●幅広いラインアップ 用途 ●電子部品の焼成炉 ●粉末治金の焼結炉 ●ガラス溶解炉 ●その他、各種工業炉

セラミックファイバーは、アルミナ・シリカを主成分とした無機繊維です。高純度品や最高使用温度1,800℃の製品も製造可能である為、電子部品焼成炉など、各分野で幅広くご使用頂いております。
	特性 ●耐熱性に優れている 　※最高使用温度1,260℃〜1,800℃ ●断熱性に優れている ●軽量で蓄熱性が小さい ●急熱、急冷に強い ●吸音性に優れている ●化学性が安定している ●切断、加工が容易である 用途 ●溶鉱炉、加熱炉の断熱被覆材 ●防火、耐熱カーテン用基材 ●溶接火花防止用シート ●耐熱パッキン材、クッション材、その他

シリグラスは、SiO2が96%以上の高珪酸ガラス繊維です。1,000℃の高温でも長時間の連続使用に耐えることが可能であり、化学的安定性・電気絶縁性などの特性により、各分野で幅広く利用されております。
	特長 ●アスベストを全く含まない ●1,000℃の長時間連続使用に耐えられる耐熱性 ●急冷、急熱に対し柔軟性を失わない耐熱衝撃特性 ●優れた断熱性 ●小さい加熱収縮率 ●加工性に優れている ●粉末治金の焼結炉 ●ガラス溶解炉 ●その他、各種工業炉 用途 ●溶鉱炉、加熱炉の断熱被覆材 ●防火、耐熱カーテン用基材 ●溶接火花防止用シート ●耐熱パッキン材、クッション材、その他

説明 シリコーン（Sillicone）は、有機基のついたケイ素と酸素とが化学結合で交互に連なってできたポリマーであり、有機性と無機性を兼ね備えた化学材料です。 シリコーンは、優れた耐熱性、耐候性、電気特性などに加え、ゴム状、樹脂状といった多彩な製品形態を持ち、あらゆる産業で利用され、なくてはならない機能材料です。 用途 ●液状シリコーンゴム 接着シール/電子部品などのコーティング/型取り印象 ●ミラブル型シリコーンゴム 各種ガスケット/各種ロール/絶縁・耐熱・難燃ゴム部品 ●シリコーンレジン 耐熱・耐候・耐薬品塗料/離型剤/プラスチック表面保護 ●シリコーンオイル ダンパー油/潤滑油/整泡剤/柔軟仕上剤/口紅/軟膏 ●電気用シリコーンワニス 高温用絶縁材料/マイカ接着用ワニス/積層板用ワニス ●塗料用シリコーンワニス 耐熱・耐候・耐薬品塗料 ●ポリマー添加用シリコーン ウレタン・塩ビフォーム整泡剤/塗料用レベリング剤 ●シリコーングリス 各種潤滑剤（ボールベアリング・ガス器具・高温炉） ●オイルコンパウンド 電気絶縁用・防湿防水シール用・放熱用・充填剤 ●離型シリコーン コンクリート金属枠・鋳型の離型剤/銅線の癒着防止 ●消泡シリコーン 塗料・ラテックス配合の消泡/工程廃水処理 ●排水シリコーン 配電盤の防湿/ゴム等の表面保護/撥水処理 ●シラン化合物 プラスチック改質剤/コンクリート・モルタルの撥水処理 ●家庭用シリコーン 接着シール剤/錆止め潤滑剤/保護つやだし ●エレクトロニクス用シリコーン 各種絶縁材料／ポッティング剤/コーティング剤 ●シリコーン樹脂微粉末 ゴム・塗料・合成樹脂・化粧品等の改質剤 製造元 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン（旧 GE東芝シリコーン）

ワコムシリコーンゴム製品は、半導体製造・医療・食品・エレクトロニクスなどさまざまな分野に広く使用されております。
製造元：株式会社ワコム製作所	特徴1　精度の高いものから汎用ゴムまで ワコム製のシリコーンゴム成形品は従来ゴム技術では難しい精度要求にも十分お応えできます。 導電ゴム付きのラバースイッチ等の成形も行なっています。汎用（低コスト）の成形品も海外協力工場にて製作可能です。 特徴2　外観・異物に配慮 清掃のゆきとどいた工場内で製作される成形品は異物等のコンタミがほとんどなく、特に半導体関連医療関連の部品用にご満足いただけると確信しております。 特徴３　短納期 製品の難易度にもよりますが金型作成からサンプル納入まで短納期でお届けいたします。 特徴４　要求特性・製作困難な形状等 希望要求特性を教えていただければ弊社技術スタッフがもっとも最適なシリコーンゴム素材を選択・配合いたします。 難しい形状であきらめた製品も是非一度ご相談ください。可能性の有る限り弊社スタッフが検討させていただきます。

製造元：株式会社ワコム製作所

説明 汎用シリコーンゴムシート 硬度：50度 JIS A 色：乳白色   厚み サイズ サイズ ： 0.5mm　 300×300   1mm 500×500   1.5mm 〃   2mm 〃   3mm 〃   4mm 〃   5mm 〃 ※ご質問・御見積もり依頼等、お問い合わせページより 　 お気軽にお問い合わせください。

製造元：株式会社ワコム製作所

説明 硬度10度〜90度の範囲で対応いたします。 導電性・難燃性、耐熱性、放熱性、高引裂性、等の特殊仕様も対応いたします。

製造元：株式会社ワコム製作所

説明 リードフレームその他のメッキ時のマスキング材として、 低硬度ゴムシートを提供しております。 硬度　0度〜20度　Hs　ASKER C 厚み　0.3ｍｍ〜 基材として、両面テープ付　PETフィルム 　　　　　　　 ベークライト・ガラエポ・その他 表面粘着性　強粘着性、低粘着性　タイプ等あります。 その他、ご要望の仕様をお申し付けください。    詳しくはこちら   PDF ： Silicone_RubberMASK.pdf

製造元：株式会社ワコム製作所

説明 弊社取り扱いのウェーハ研磨工程用キャリアは金属（SK、SUS等）および樹脂（ガラエポ、アラミド等）の様々素材で提供できます。また、ご要望に応じてウェーハ端面損傷防止等を目的とし、ホール周辺部に樹脂やエラストマーなどをインジェクション成形可能です。

製造元：株式会社ワコム製作所

説明 汎用エンプラからスーパーエンプラまで、樹脂全般に渡り各材質に合ったノウハウを蓄積し、お客様の様々なご要望にお答えできる体制を整えております。

製造元：株式会社トムコ

部品製造の特徴 あらゆるニーズに応える為、熟練者が切削条件や工具交換などの加工条件を自動プロに入力し、そのデータをもとに加工が行なわれるマシン郡 MC、NCマシンによる自動加工で、多種多様な部品が効率よく加工できます また、完成した部品を検査・測定する高度な計測機器も完備し、ニーズに応える高精度・高品位製品の生産をしております。

クリーンルーム（class1000） 製造元：株式会社トムコ

再生洗浄とは・・・ スパッタ装置やエッチング装置等で使用する、防着シールド等のパーツに付着したデポ膜を、剥離・表面処理・精密洗浄・脱ガス乾燥を行い、気密梱包してお客様にお届けする、言いかえれば「パーツのウルトラ・クリーニング屋」です。 特徴 高信頼性のパーツを提供致します。 　　a, プラズマ又はアーク溶射により、パーツ表面にアルミ等の 　　　　膜をコートし、デポ膜の保持力を向上させ、微粉末の脱落 　　　　及び片状剥離によるパーティクルの発生を抑制します。 　　b, 昇温離脱ガス分析データをもとに、真空ベーク条件設定を 　　　　行う為、再生パーツからの脱ガスによる不具合の発生をミ 　　　　ニマムに出来ます。 　　c, 精密洗浄工程から気密梱包まで、専用クリーンルーム内で 　　　　の一貫作業となりますので、直ちにご使用頂ける状態でお 　　　　届け致します。 　　d, 弊社検査基準により全数出荷検査を行い、品質保証致し 　　　　ます。 　　e, 標準化により、バラツキの少ない再生処理が可能です。

米国の関連会社Wacom Quartzとワコム製作所は、ASM Epsilon 石英製品のライセンスを取得して製造しており、弊社が販売をしています。
ATMチャンバー RPチャンバー	説明 ASM EPSILON®チャンバー

関連会社のワコム製作所では、プロセスチューブ・ボート・角槽等の石英加工品を製作し、それら各種半導体用の石英ガラス製品を販売しております。各素材メーカーより石英インゴットを調達して入る為、さまざまな加工が可能です。
製造元：株式会社ワコム製作所	説明 角槽         ／縦型ボート・反応管 精密加工品／チャンバー及び石英バーナー

説明 ガラス状カーボンは炭素材料の一種です。一般的な炭素材料の特性である、耐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 特徴 ●耐薬品性 ●気体・液体の不透過性 ●高純度 ●無発塵 ●高耐熱性 ●X線高透過性 用途 ●プラズマエッチング、CVD装置用部材 ●スパッタリングターゲット ●高純度耐薬品性部材 ●分析装置用部材 ●X線機器用部材

説明 ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 特徴 ●黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 ●黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。 ●黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。 ●黒鉛材料のガス透過を抑えます。 ●黒鉛材料の様々な形状への対応が可能です。 ●金属、ガラスとの反応性を抑えます。 用途 ●ハーメチックシール用治具 ●電子部品組立用治具 ●半導体製造用治具 ●FPD製造用治具 ●蒸着用ルツボ ●高温および真空部品 ●その他の黒鉛加工品

説明 カーボン接着剤は炭素材料用（黒鉛材、C/Cコンポジット等）に開発された高強度・耐熱接着剤です。接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。

説明 カーボンビーズは滑らかな表面状態の真球状炭素材料です。ガラス状カーボンの持つ導電性、耐薬品性はそのままに、真球状にすることで硬度と均一充填性を高めることが可能です。素材への特性付与のためのフィラーやセラミックス等の造孔材としてなど、様々な用途にご利用いただけます。 【代表値（CB-100）】 中心粒径　100μm かさ密度　0.97Mg/m3 真比重　　1.45Mg/m3

説明 多孔質ガラス状カーボンは100%ガラス状カーボンで構成する素材に、通気性を持たせた製品です。腐食性ガスおよび液体に対する耐食性、耐熱性、導電性等を有しつつ、多孔質材料の特性である通気性、通液性を併せ持っております。真空チャック用途などに様々な可能性を秘めた素材として期待されます。 用途 ●真空チャック用部材 ●各種フィルタ ●ガス拡散用部材 代表値（AP-100） かさ密度　1.0 Mg/m3

説明 酸化炉、拡散炉、LPCVD炉、アニール炉、RTP、エピタキシャル炉などの熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 各種形状の製作が可能です。 特徴 ●高温炉内温度を正確に測定 ●高純度材料を使用 用途 ●熱処理工程の温度制御・測定センサ

温度調節器。高精度タイプ、小型タイプ、多チャンネル基板タイプ、SSR内蔵タイプ等、各種取り揃えております。また、2CH入力モデルは、温度センサの簡易的な比較校正が可能です。その他お客様の仕様に合わせた特型対応もいたします。

説明 温度の異常の検知・制御するための温度スイッチです。接点精度の優れた金属膨張式、耐震性に優れた液体膨張式、応答性の良い表面設置型金属膨張式を取り揃えております。幅広い温度範囲に対応いたします。ヒーターだけでなく、油温の管理、制御盤の冷却などにもご使用いただけます。

説明 世界最小クラスの煙探知器。装置内設置する事により火災を初期の段階で検知し、重要な装置を火災から守ります。通常雰囲気からクリーンルームまで、用途・仕様・環境、出力・制御システムなど幅広いニーズに対応します。 特徴 ●超小型 ●高感度 ●垂直構造を採用し、より早く煙流入を検知

説明 半導体プロセス用パーフロ（FFKM)のO-RINGです。 他社製品同等以上の優れた耐薬品特性と熱安定性を兼ね備え、さらに従来品よりも低価格を実現した新しい製品です。 特徴 ●より高温のアプリケーションに対応可能。 ●超高純度、優れたタイプラズマ特性及び抜きんでた物理特性を実現。 ●クリーン・ルームでの製造、純水による洗浄を経て、クラス100のワーク・ステーションで二重梱包され出荷。 ●プラズマ、ガス・ディポジション、熱処理、及びHDPCVD、PECVD、LPCVD、RTP、エッチング、アッシングなどさまざまなアプリケーション下で長期に渡る信頼性をご提供致します。